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臺灣安可立「ACL-UP1810硅芯片級拋光樹脂」高純度(TOC≦5ppb)凝膠型均勻顆粒，混和型樹脂。該產(chǎn)品作用在生產(chǎn)用水及超純水的最終拋光選擇。

用途：

混合型拋光樹脂應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備和其他電子級產(chǎn)品。

優(yōu)勢：

高純度、低TOC、產(chǎn)生極低有機(jī)或無機(jī)物雜質(zhì)波漏。

項目	強(qiáng)酸陽離子樹脂(H+)	強(qiáng)鹼陰離子樹脂(OH-)
總交換容量	≥1.8eg/L	≥1.0eg/L
陽陰樹脂體積比	1:1.5
含水率	44(H+)	56(OH-)
探水水質(zhì)	探水水質(zhì)達(dá)18MΩ-cm以上
TOC測試	出水≤5ppb
SiO2測試	出水≤3ppb

建議操作條件
操作溫度	15~25℃
最小床深	900mm
體積流速	30~50 BV/h
線性流速	120m/h at 35~50℃

建議入水條件
入水水質(zhì)	>17MΩ-cm
入水總有機(jī)碳濃度(TOC)	<20ppb

【注】樹脂可作用于建議數(shù)據(jù)以外，但結(jié)果可能不是最佳的。