專題文章:生產(chǎn)用水及超純水的最終拋光選擇
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人們常說(shuō)的拋光樹(shù)脂、核級(jí)樹(shù)脂、電子級(jí)樹(shù)脂都是用于取高純水制取無(wú)需再生的一次性樹(shù)脂,一般用于超純水處理系統(tǒng)末端,來(lái)保證系統(tǒng)出水水質(zhì)能夠維持用水標(biāo)準(zhǔn)。一般出水水質(zhì)都能達(dá)到18兆歐以上,以及對(duì)TOC、SIO2都有一定的控制能力。拋光樹(shù)脂出廠的離子型態(tài)都是H、OH型,裝填后及可使用無(wú)需再生。一般用于半導(dǎo)體行業(yè)。
常用的品牌有美國(guó)羅門(mén)哈斯、德國(guó)拜爾朗盛等,羅門(mén)哈斯的型號(hào)有AMBERJET UP6150、AMBERJET UP6040、IRN160等。(UP6150與UP6040的主要區(qū)別在TOC和SIO2的處理上,UP6150處理能力能在TOC<=20ppb,SIO2<=5ppb;UP6040可以處理能力在TOC<=15ppb,SIO2<=2ppb),安可立「ACL-UP1810硅芯片級(jí)拋光樹(shù)脂」高純度(TOC≦5ppb)凝膠型均勻顆粒,混和型樹(shù)脂。和ACL-UP2011陰陽(yáng)離子交換樹(shù)脂(H+、OH-)安可立ACL-UP2011是一種經(jīng)離子均衡化后的混床樹(shù)脂,它是由強(qiáng)陽(yáng)離子交換樹(shù)脂與強(qiáng)陰離子交換樹(shù)脂混合而成,可直接使用于制程。 ACL-UP2011被用來(lái)生產(chǎn)超純水,它可適用于所有需要 TOC、二氧化硅含量低、無(wú)二氧化碳的除礦水處理??梢蕴娲鶸P6150型號(hào)樹(shù)脂的作用。
該產(chǎn)品作用在生產(chǎn)用水及超純水的最終拋光選擇。
