專題文章:臺(tái)灣安可立兩款硅芯片級(jí)拋光樹脂可替代UP6150
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ACL-UP2011陰陽離子交換樹脂(H+、OH-)
安可立ACL-UP2011是一種經(jīng)離子均衡化后的混床樹脂,它是由強(qiáng)陽離子交換樹脂與強(qiáng)陰離子交換樹脂混合而成,可直接使用于制程。 ACL-UP2011被用來生產(chǎn)超純水,它可適用于所有需要 TOC、二氧化硅含量低、無二氧化碳的除礦水處理。
主要應(yīng)用 | 產(chǎn)品優(yōu)勢(shì) |
1.工業(yè)脫鹽 2.離子去除 3.軟化 | 1.良好的交換速率 2.高工作交換容量 3.高強(qiáng)度結(jié)構(gòu) |
項(xiàng)目 | 強(qiáng)酸陽離子樹脂(H+) | 強(qiáng)堿陰離子樹脂(OH-) |
總交換容量 | ≧2.0 eq/L | ≧1.10 eq/L |
氫型樹脂(H+ form) | 99% | none |
氫氧型樹脂(OH- form) | none | 93% |
陽陰樹脂交換容量比 | 1:1 | |
採水測(cè)試 | 採水水質(zhì)達(dá)18MΩ-cm以上 | |
TOC測(cè)試 | 出水≦5ppb | |
SiO2測(cè)試 | 出水≦3ppb | |
Kinetic test | OK |
ACL-UP1810硅芯片級(jí)拋光樹脂
用途:
混合型拋光樹脂應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備和其他電子級(jí)產(chǎn)品。
優(yōu)勢(shì):
高純度、低TOC、產(chǎn)生極低有機(jī)或無機(jī)物雜質(zhì)波漏。
項(xiàng)目 | 強(qiáng)酸陽離子樹脂(H+) | 強(qiáng)鹼陰離子樹脂(OH-) |
總交換容量 | ≥1.8eg/L | ≥1.0eg/L |
陽陰樹脂體積比 | 1:1.5 | |
含水率 | 44(H+) | 56(OH-) |
探水水質(zhì) | 探水水質(zhì)達(dá)18MΩ-cm以上 | |
TOC測(cè)試 | 出水≤5ppb | |
SiO2測(cè)試 | 出水≤3ppb |
建議操作條件 | |
操作溫度 | 15~25℃ |
最小床深 | 900mm |
體積流速 | 30~50 BV/h |
線性流速 | 120m/h at 35~50℃ |
建議入水條件 | |
入水水質(zhì) | >17MΩ-cm |
入水總有機(jī)碳濃度(TOC) | <20ppb |
【注】樹脂可作用于建議數(shù)據(jù)以外,但結(jié)果可能不是最佳的。
